टाइटेनियम सेमीकंडक्टर घटक
चाइना सुपर टेक कंपनी लिमिटेड द्वारा लॉन्च की गई सेमीकंडक्टर {{0}ग्रेड टाइटेनियम मिश्र धातु ले जाने वाली ट्रे लगभग {3}नेट{4}आकार का कोर घटक है जिसे विशेष रूप से उच्च अंत लिथोग्राफी उपकरण के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसका वजन लगभग 80 किलोग्राम है। यह एकल टुकड़ा मोल्डिंग प्रक्रिया के माध्यम से टाइटेनियम मिश्र धातु सब्सट्रेट से बना है और उच्च सफाई और उच्च कंपन अर्धचालक उत्पादन वातावरण में वेफर मॉड्यूल को स्थिर रूप से ले जा सकता है। यह पारंपरिक प्रसंस्करण विधियों के कारण होने वाले भौतिक अपशिष्ट और सटीक विचलन को काफी कम कर देता है।
- उत्पाद का परिचय
उत्पाद की विशेषताएँ
1. कम सामग्री हानि
आर्क प्लाज्मा जमाव प्रक्रिया का उपयोग करके और परत संलयन और मोल्डिंग के लिए कच्चे माल के रूप में टाइटेनियम तार का उपयोग करके, सामग्री उपयोग दर पारंपरिक मिलिंग की तुलना में 70% अधिक है, जिससे कीमती टाइटेनियम सामग्री की अनावश्यक खपत कम हो जाती है।
2. उच्च संरचनात्मक कठोरता
बनाने के बाद, पारंपरिक ढलाई में सामान्य सरंध्रता दोषों के बिना, आंतरिक संरचना घनी और एक समान होती है। उपकरण की उच्च गति गति की स्थिति में इसके ख़राब होने की संभावना कम होती है, और लंबे समय तक उपयोग के दौरान सटीक उतार-चढ़ाव 0.02 मिमी से कम होता है।
3. कम अवशिष्ट तनाव
बनने के बाद, घटकों के लिए एक विशेष तापमान नियंत्रित उम्र बढ़ने का उपचार प्रदान किया जाता है। घटकों के अंदर अवशिष्ट तनाव उद्योग मानक स्तर से बहुत कम है। बाद के सटीक प्रसंस्करण के दौरान कोई अप्रत्याशित विकृति नहीं होगी।
4. उच्च स्वच्छता और अनुकूलता
टाइटेनियम मिश्र धातु की सतह को निष्क्रियता के साथ इलाज किया जा सकता है, जो धातु के कणों की वर्षा से ग्रस्त नहीं है और अर्धचालक कार्यशाला की उच्च स्वच्छता उत्पादन आवश्यकताओं को पूरी तरह से पूरा करता है।
उत्पाद व्यवहार्यता
1. लिथोग्राफी उपकरण के लिए वेफर वाहक
लिथोग्राफी प्रणाली में वेफर वाहक ट्रे के रूप में, यह उच्च गति गति और सटीक संरेखण प्रक्रिया के दौरान वेफर मॉड्यूल को सुरक्षित रूप से रखता है, एक्सपोज़र प्रक्रिया के दौरान वेफर को हिलने से रोकता है और प्रत्येक वेफर की लाइन नक़्क़ाशी सटीकता सुनिश्चित करता है।
2. वैक्यूम कोटिंग वाहक
सेमीकंडक्टर वैक्यूम कोटिंग मशीन के अंदर रखा गया, यह बैचों में चिप्स को लेपित करने के लिए रखता है। वैक्यूम वातावरण में टाइटेनियम सामग्री की गैस उत्सर्जन दर बेहद कम होती है, जो कोटिंग कक्ष के अंदर उच्च वैक्यूम स्थिति को बाधित नहीं करती है, जिससे कोटिंग परत की एकरूपता और घनत्व सुनिश्चित होता है।
3. चिप परीक्षण स्थिरता आधार
चिप सॉर्टिंग और परीक्षण उपकरण के आधार घटक के रूप में, अपने वजन से लाई गई उच्च स्थिरता उपकरण की उच्च गति सॉर्टिंग के कारण होने वाले मामूली कंपन का प्रतिकार कर सकती है, जिससे जांच और चिप पिन का संरेखण अधिक सटीक हो जाता है और परीक्षण की त्रुटि दर कम हो जाती है।
अनुकूलित सेवा
चाइना सुपर टेक कंपनी लिमिटेड मांग मिलान से लेकर उत्पाद वितरण तक पूर्ण प्रक्रिया अनुकूलित सेवा प्रदान कर सकती है। परिपक्व टाइटेनियम मिश्र धातु जमाव तकनीक पर भरोसा करते हुए, यह बार-बार मोल्ड उत्पादन की आवश्यकता के बिना जल्दी से लगभग {{4}नेट{5}आकार के बिलेट्स का उत्पादन कर सकता है। इसके बाद, ग्राहक के विनिर्देशों के अनुसार आवश्यक आयामी सटीकता प्राप्त करने के लिए केवल थोड़ी मात्रा में सटीक प्रसंस्करण की आवश्यकता होती है।
हम ग्राहक के उपकरण की वास्तविक स्थापना स्थान और भार वहन आवश्यकताओं के अनुसार घटकों के आकार और आंतरिक सुदृढीकरण संरचना को समायोजित कर सकते हैं, और ग्राहक की आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न सफाई स्तरों के लिए उपयुक्त सतह उपचार समाधान भी प्रदान कर सकते हैं। हम पूरी प्रक्रिया के दौरान प्रसंस्करण प्रगति पर नज़र रखेंगे ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि अनुकूलित घटक उपकरण इंटरफ़ेस के अतिरिक्त संशोधन की आवश्यकता के बिना ग्राहक के सेमीकंडक्टर उपकरण की मौजूदा आपूर्ति श्रृंखला प्रणाली में सीधे फिट हो सकें।
विनिर्देश
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पैरामीटर |
विनिर्देश |
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प्रोडक्ट का नाम |
टाइटेनियम सेमीकंडक्टर घटक |
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सामग्री |
शुद्ध टाइटेनियम (ग्रेड 1, ग्रेड 2), टाइटेनियम मिश्र धातु (ग्रेड 5 / Ti-6Al-4V) |
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मानक |
एएसटीएम बी348, एएसटीएम बी381, एएसटीएम एफ67, एएसटीएम एफ136 (कस्टम उपलब्ध) |
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विनिर्माण प्रक्रिया |
सीएनसी मशीनिंग, प्रिसिजन टर्निंग, मिलिंग, ग्राइंडिंग |
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उपलब्ध आकार |
अंगूठियां, चैंबर, लक्ष्य, फ्लैंज, प्लेट, फिक्स्चर, कस्टम पार्ट्स |
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व्यास |
5 मिमी - 1000 मिमी |
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लंबाई |
3000 मिमी तक |
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मोटाई |
0.5 मिमी - 200 मिमी |
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सहनशीलता |
±0.005 मिमी से ±0.02 मिमी (डिज़ाइन के आधार पर) |
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सतही समापन |
मशीनयुक्त, पॉलिश किया हुआ, मिरर फ़िनिश, सैंडब्लास्टेड, अचारयुक्त |
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सतह का खुरदरापन |
रा 0.2-1.6 μm |
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पवित्रता |
99.9% तक (व्यावसायिक रूप से शुद्ध टाइटेनियम) |
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घनत्व |
4.51 ग्राम/सेमी³ |
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परिचालन तापमान |
600 डिग्री तक |
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संक्षारण प्रतिरोध |
एसिड, क्षार और अल्ट्रा-शुद्ध रसायनों के प्रति उत्कृष्ट प्रतिरोध |
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प्रमाणन |
ISO 9001, सामग्री परीक्षण प्रमाणपत्र (EN 10204 3.1 उपलब्ध) |
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OEM/ODM |
उपलब्ध |
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न
सेमीकंडक्टर उपकरणों में स्टेनलेस स्टील या एल्यूमीनियम के बजाय टाइटेनियम का व्यापक रूप से उपयोग क्यों किया जाता है?
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टाइटेनियम संक्षारण प्रतिरोध, कम गैस उत्सर्जन, उच्च शक्ति {{0} से {{1} वजन अनुपात, और अल्ट्रा {{2} उच्च वैक्यूम (यूएचवी) वातावरण के साथ संगतता का एक उत्कृष्ट संयोजन प्रदान करता है। ये गुण इसे आक्रामक रसायनों, प्लाज्मा प्रसंस्करण और उच्च शुद्धता उत्पादन स्थितियों के संपर्क में आने वाले अर्धचालक विनिर्माण उपकरणों के लिए आदर्श बनाते हैं। स्टेनलेस स्टील या एल्यूमीनियम की तुलना में, टाइटेनियम में धातु आयनों या कणों के साथ वेफर्स को दूषित करने की संभावना कम होती है, जिससे उत्पादन उपज और प्रक्रिया स्थिरता में सुधार करने में मदद मिलती है। इसका उपयोग आमतौर पर वैक्यूम चैंबर, प्रोसेस फिक्स्चर, गैस वितरण घटकों, वेफर हैंडलिंग पार्ट्स और प्लाज्मा उपकरण के लिए किया जाता है।
आप विनिर्माण के दौरान कण संदूषण को कैसे कम करते हैं?
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अर्धचालक निर्माताओं के लिए कण संदूषण सबसे बड़ी चिंताओं में से एक है क्योंकि सूक्ष्म कण भी वेफर उपज को कम कर सकते हैं। संदूषण को कम करने के लिए, टाइटेनियम सेमीकंडक्टर घटकों को सटीक सीएनसी मशीनिंग से गुजरना चाहिए, जिसके बाद आवश्यकता पड़ने पर पॉलिशिंग, पैसिवेशन या इलेक्ट्रोपॉलिशिंग जैसी उपयुक्त सतह परिष्करण किया जाना चाहिए। परिवहन के दौरान संदूषण को रोकने के लिए घटकों को आम तौर पर सेमीकंडक्टर ग्रेड सफाई प्रक्रियाओं का उपयोग करके साफ किया जाता है और स्वच्छ वातावरण में पैक किया जाता है। ग्राहक अपनी उपकरण आवश्यकताओं के अनुसार विशिष्ट सतह खुरदरापन (रा), सफाई स्तर और अनुकूलित पैकेजिंग का भी अनुरोध कर सकते हैं।
क्या आप चित्रों के अनुसार कस्टम टाइटेनियम सेमीकंडक्टर घटकों का निर्माण कर सकते हैं?
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हाँ। अधिकांश सेमीकंडक्टर टाइटेनियम घटक कस्टम निर्मित होते हैं क्योंकि प्रत्येक उपकरण निर्माता के पास अलग-अलग डिज़ाइन विनिर्देश होते हैं। ग्राहक आमतौर पर प्रदान करते हैं: 2डी ड्राइंग या 3डी सीएडी फाइलें (स्टेप, आईजीईएस, पीडीएफ) सामग्री ग्रेड आवश्यकताएं सतह खत्म विनिर्देश गंभीर सहनशीलता सफाई आवश्यकताएं निरीक्षण आवश्यकताएं इन विशिष्टताओं के आधार पर, सटीक सीएनसी मशीनिंग, आयामी निरीक्षण, सामग्री ट्रैसेबिलिटी और अनुकूलित पैकेजिंग सभी शिपमेंट से पहले प्रदान की जा सकती हैं।
टाइटेनियम सेमीकंडक्टर घटकों के साथ कौन से गुणवत्ता वाले दस्तावेज़ उपलब्ध कराए जा सकते हैं?
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सेमीकंडक्टर उपकरण निर्माताओं को अक्सर उत्पाद की स्थिरता और पता लगाने की क्षमता सुनिश्चित करने के लिए पूर्ण गुणवत्ता दस्तावेज़ीकरण की आवश्यकता होती है। विशिष्ट दस्तावेज़ों में शामिल हैं: सामग्री परीक्षण प्रमाणपत्र (EN 10204 3.1) रासायनिक संरचना रिपोर्ट यांत्रिक संपत्ति रिपोर्ट आयामी निरीक्षण रिपोर्ट सीएमएम निरीक्षण रिपोर्ट सतह खुरदरापन रिपोर्ट प्रथम लेख निरीक्षण (एफएआई) अनुरूपता का प्रमाण पत्र (सीओसी) ग्राहक विनिर्देशों के अनुसार अतिरिक्त निरीक्षण रिपोर्ट भी प्रदान की जा सकती है।
टाइटेनियम घटक कठोर अर्धचालक प्रसंस्करण वातावरण में लंबी सेवा जीवन कैसे बनाए रख सकते हैं?
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सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में अक्सर उच्च वैक्यूम, प्लाज़्मा एक्सपोज़र, संक्षारक प्रक्रिया गैसें और अल्ट्रा{0}}शुद्ध रसायन शामिल होते हैं। खराब सामग्री चयन या अपर्याप्त सतह उपचार के परिणामस्वरूप संक्षारण, संदूषण, अत्यधिक गैस निकलना या उपकरण का जीवन छोटा हो सकता है। उच्च गुणवत्ता वाले टाइटेनियम घटकों का निर्माण उपयुक्त टाइटेनियम ग्रेड, सटीक मशीनिंग, नियंत्रित सतह परिष्करण और सख्त गुणवत्ता निरीक्षण का उपयोग करके किया जाता है। स्वच्छ विनिर्माण प्रक्रियाओं के साथ उचित सामग्री चयन से संक्षारण प्रतिरोध में सुधार, आउटगैसिंग को कम करने, कण उत्पादन को कम करने और अर्धचालक परिचालन स्थितियों की मांग के तहत घटक सेवा जीवन का विस्तार करने में मदद मिलती है।
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